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    常用的薄膜折射率測(cè)試方法

    更新時(shí)間:2023-05-26       點(diǎn)擊次數(shù):775
      薄膜折射率測(cè)試是一種廣泛應(yīng)用于薄膜制備和光電子技術(shù)領(lǐng)域的測(cè)量方法。通過測(cè)試薄膜的折射率,可以確定薄膜的光學(xué)性質(zhì)和厚度。根據(jù)不同的實(shí)際需求和測(cè)量精度,可以選擇不同的測(cè)試方法和設(shè)備。薄膜折射率測(cè)試在許多領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。
     
      一、原理:
     
      光波在兩個(gè)介質(zhì)的界面處發(fā)生反射和折射。這個(gè)現(xiàn)象的發(fā)生導(dǎo)致了光程差,這是光學(xué)薄膜測(cè)量的基礎(chǔ)。利用膜的表面反射光和透射光的光程差來測(cè)量薄膜的光學(xué)性質(zhì)和厚度。薄膜折射率測(cè)試的原理建立在菲涅爾公式的基礎(chǔ)上。菲涅爾公式是一種光學(xué)定律,用于計(jì)算光線在介質(zhì)之間反射和折射的情況。該公式描述了光線傳播過程中發(fā)生反射和折射的角度和光強(qiáng)度。
     
      二、常用的薄膜折射率測(cè)試方法:
     
      1.自制反射法:這種方法是簡(jiǎn)單的薄膜測(cè)量方法之一,它通過將激光束照射到薄膜上,利用膜的表面反射光經(jīng)過干涉來測(cè)量薄膜的厚度和折射率。
     
      2.橢偏法:該方法是利用橢偏儀測(cè)量樣品的旋光度和透過率,然后通過數(shù)據(jù)計(jì)算薄膜的折射率。
     
      3.多光束干涉法:多光束干涉法是一種非接觸式的測(cè)量技術(shù)。它利用干涉條紋和精確的運(yùn)算方法來測(cè)量薄膜的厚度和折射率。
     
      4.研磨法:這種方法需要把薄膜研磨成一個(gè)角度逐漸變化的斜面,然后通過測(cè)量不同角度的反射光強(qiáng)度來確定其折射率。
     
      三、常用的設(shè)備包括:
     
      1.自制反射儀:由一個(gè)激光器、一個(gè)反射鏡、一個(gè)樣品臺(tái)和一個(gè)探測(cè)器組成。
     
      2.橢偏儀:包括一個(gè)橢圓偏振器和一個(gè)分光鏡。
     
      3.多光束干涉儀:由一個(gè)激光器,一個(gè)干涉儀和一個(gè)探測(cè)器組成。
     
      4.研磨儀:研磨儀由一個(gè)磨片和一個(gè)樣品架組成。
     
      四、應(yīng)用領(lǐng)域:
     
      廣泛應(yīng)用于薄膜制備和光電子技術(shù)領(lǐng)域。例如,在光存儲(chǔ)、微電子設(shè)備、光纖通信、太陽(yáng)能光伏等領(lǐng)域,它是很重要的工具。此外,還可以用于各種化學(xué)、生物和醫(yī)學(xué)應(yīng)用。例如,通過該測(cè)試可以測(cè)量血液和其他生物體液體中的蛋白質(zhì)含量。

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